삼막사 창건은 677년에 이루어졌다고 전한다. 신라의 원효, 의상 두 고승과 윤필거사 등 세 분이 이 곳에 띠집을 엮어 수행처를 마련한 것이 창건의 시초라는 것이다. 이같은 사실은 1771년 설암이라는 분이 작성한 ＜삼성산삼막사사적＞에 기록되어 있다. 이 자료는 삼막사의 창건과 근대 이전까지의 역사를 전하는 유일한 것으로 신빙성 여부는 단언할 수 없으나 매우 소중한 자료임은 분명하다. 한편 삼막사의 창건에 대하여 다른 사실을 전하는 자료가 있어 눈길을 끈다. 《범우고》의 금천조에 실린 삼막사 관련 기록에는 고려말에 지공, 나옹, 무학이 삼막사를 창건하였으며, 세분의 상이 사찰에 봉안되어 있었다는 내용이 실려있는 것이다. 하지만 이 기록을 그대로 믿기는 어려우며,＜삼성산삼막사사적＞의 내용으로 볼 때 이들이 삼막사에 거주했던 사실이 창건주로 잘못 인식된 것이 아닐까 추측된다. 이 지역 일대의 여타 사찰에서도 원효, 의상, 윤필거사 또는 지공, 나옹, 무학 등 세 분의 성현과 얽힌 설화가 널리 전승되고 있다는 사실은 삼성산이라는 지리적 배경이 관계된 것으로 이해할 필요가 있다. 출처:『전통사찰총서3 경기도1』,1993,사찰문화연구원